Elaboration et caractérisation de films minces de tri et pentatellurures de zirconium

Deposition and characterization of ZRTE#X with X=3 or 5 thin films

• Auteur / Autrice : Sylvie Caune
• Direction : Yves Mathey
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences des matériaux
• Date : Soutenance en 1989
• Etablissement(s) : Aix-Marseille 2
• Partenaire(s) de recherche : autre partenaire : Université d'Aix-Marseille II. Faculté des sciences (1969-2011)

Mots clés

Mots clés contrôlés

Couches minces

Résumé

Elaboration de couches minces zrte#3 et zrte#5 par pulverisation cathodique. Etude de la morphologie par microscopie electronique a balayage et de l'etat cristallin par diffraction rx. Etude systematique de la composition des couches par microanalyse de fluorescence x. D'autres analyses ont ete effectuees par spectroscopies d'electrons auger, de photoelectrons et exafs. Tous les resultats montrent la faisabilite d'elaboration des materiaux quasi-monodimensionnels zrtz#3 et zrte#5 en couches minces. Des mesures de reflectivite et de conduction, des etudes du comportement lors d'une reduction chimique ont ete effectuees egalement