Caracterisation electrique des films de polyamide-imide et de leurs interfaces avec un substrat semiconducteur

par Tchaa Tchangai

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Yvan Ségui.

Soutenue en 1988

à Toulouse 3 .

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  • Résumé

    Preparation de couches minces par pelliculage sur substrat de verre metallique ou semiconducteur. L'adherence se fait par des liaisons chimiques; les films resistent a la gravure par plasma fluore. Mecanisme de la conduction electrique


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Informations

  • Détails : 162 P.
  • Annexes : 127 REF

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  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 1988TOU30101
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