Modelisation mono- et bidimensionnelle des phenomenes electrostatiques dans le silicium polycristallin petits grains : application a l'effet de champ dans une structure mos

par Hervé Lhermite

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Olivier Bonnaud.

Soutenue en 1988

à Rennes 1 .

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  • Résumé

    L'objet de cette these est l'etude des phenomenes electrostatiques dans les couches de silicium polycristallin au moyen de la resolution numerique de l'equation de poisson a une et deux dimensions. A deux dimensions, on etudie comment un joint de grain parallele a une structure mos polycristalline (mosp) peut bloquer les variations de potentiel induites par la tension de grille. On etudie ensuite les parametres de la simulation (taille des grains, dopage, pieges a l'interface, etc. ) sur les variations d'une capacite mosp en vue de simuler la caracteristique courant tension d'une structure reelle


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Informations

  • Détails : 1 vol. (164 f.)
  • Annexes : 81 REF

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  • Bibliothèque : Université de Rennes I. Service commun de la documentation. Section sciences et philosophie.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TA RENNES 1988/20
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