Etude des mecanismes de nitruration du titane massif et des films minces de titane, dans un reacteur plasma basse pression hors equilibre, en atmosphere d'ammoniac

par NADHIRA BENSAADA-LAIDANI

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Jacques Amouroux.

Soutenue en 1988

à Paris 6 .

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  • Résumé

    Identification des especes reactives excitees, par spectroscopie d'emission. Determination de la vitesse de dissociation de nh#3 par chromatographie en phase gazeuse. Etude cinetique permettant de definir les mecanismes de formation de tin. Evolution des proprietes electriques de la surface. Mise en evidence de deux processus en competition: la nitruration de la surface du film et la siliciuration a l'interface si/ti. L'analyse spectroscopique du plasma a montre que l'interface plasma/surface est le site d'un processus de recombinaison heterogene


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Informations

  • Annexes : 129 REF

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  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : PMC RT P6 1988
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