Élaboration et caractérisation de couches minces de nitrures et carbure sur titane obtenues par réaction plasma H. F

par Mohamed Kabbaj

Thèse de doctorat en Sciences

Sous la direction de Louis Cot.

Soutenue en 1988

à Montpellier 2 .


  • Résumé

    Influence des parametres du plasma sur la nature et la morphologie des couches ainsi que sur les cinetiques de croissance dans le cas des plasmas n#2, nh#3 et ch#4. On montre par analyse par microscopie electronique a balayages et par spectrometrie de masse d'ions secondaires que les couches de nitrures et de carbures sont homogenes et uniformes. Proposition d'un mecanisme de nitruration par plasma h. F.

  • Titre traduit

    Elaboration and characterization of thin films of titanium nitrides and nitanium carbides prepared with plasma H. F.


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Informations

  • Détails : 1 vol. ([1] f., [5], 176 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury

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  • Cote : TEXT 1988 KAB
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