Etude par spectrometrie de masse d'ions secondaires des contacts tungstene/silicium et tungstene/chrome/silicium

par Aali Es-Saadani

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de ABEL SIBAI.

Soutenue en 1988

à Lyon, INSA .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Mise au point de l'analyse sims, l'etalonnage de l'appareil et la quantification continue des mesures en concentration et profondeur a la traversee de l'interface; etude des conditions de fabrication et de leurs consequences en fonction de divers parametres (defaut d'implantation, dopant, temperature. . . )

  • Titre traduit

    Sims study of w/si and w/cr/si contacts


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Informations

  • Détails : 142 P.
  • Annexes : 63 REF

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