Etude du fonctionnement et du vieillissement de transistors MOS submicroniques à basse température

par Chiên Nguyen-Duc

Thèse de doctorat en Micro-électronique

Sous la direction de Sorin Cristoloveanu.

Soutenue en 1988

à Grenoble INPG .

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  • Résumé

    Pour cette etude, en premiere partie, deux modeles sont proposes pour prendre en compte les aspects particuliers aux dispositifs a canal tres court (submicron). On propose aussi une methode pour determiner la longueur electrique des tmos. La seconde partie est consacree a l'etude des mecanismes physiques de degradation par les porteurs chauds et du vieillissement a 77k de transistor mos fabriques par differentes technologies. On montre que le piegeage des electrons et la generation des etats d'interface varient selon les conditions de contrainte, la temperature et la longueur des transistors


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  • Détails : 1 vol. (162 p.)

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  • Cote : TS 88/INPG/0048
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