Cinétiques et mécanismes de dépôt de matériaux pour la microélectronique obtenus lors de l'interaction d'un faisceau laser avec une surface en présence d'un gaz

par Didier Tonneau

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Michel Joseph Gentil de Chavagnac.

Soutenue en 1988

à l'Université Joseph Fourier (Grenoble) .

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  • Résumé

    Des molecules de gaz ont ete decomposes sur differentes surfaces irradiees localement par un faisceau laser continu, visible (ar**(+)) ou ir (co::(2)). Par un processus photolytique ou pyrolytique, la dissociation des molecules aboutit a une reaction de depot ou de gravure de la surface. Des etudes cinetiques detaillee ont permis de determiner la nature pyrolytique ou photolytique de la decomposition des gaz et d'identifier les differents mecanismes limitant les vitesses des reactions. C'est dans le domaine de la microelectronique que l'on trouve, a l'heure actuelle, l'application la plus importante des reactions de depot ou de gravure induites par laser. Les reactions presentees dans ce rapport peuvent etre rassemblees dans un procede complet d'interconnexion sur circuits vlsi par microchimie laser


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  • Détails : 215 p

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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 88/GRE1/0069
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