Contribution a la caracterisation optique des alliages amorphes de nitrure de silicium hydrogene

par ETIENNE BUSTARRET

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de A. DENEUVILLE.

Soutenue en 1987

à Grenoble 1 .

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  • Résumé

    Une serie de couches minces d'alliages de nitrure de silicium prepares par decharge luminescente et de compositions atomiques connues a ete caracterisee par des methodes optiques telles que la transmission dans le visible, le proche ultraviolet et l'infrarouge, la deflexion phototermique, la diffusion raman et la spectroscopie de photoelectrons crees par uv et rayons x. Une analyse quantitative des bandes d'absorption infrarouge a permis d'attribuer les modes de vibration des liaisons presentes dans le materiau et de donner leurs forces d'oscillateur. La statistique des liaisons obtenue a ete confrontee a la statistique de sites premiers voisins d'un alliage aleatoire pour des concentrations d'azote de 1 a environ 60% atomique, et l'ordre chimique a ete mis en evidence. La spectroscopie de vibration et la diffraction de rayons x montrent que les distances interatomiques si-si et si-n restent constantes


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Informations

  • Détails : VOL.,277 P.
  • Annexes : 293 REF.

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