Caractérisation d'oxynitrures de silicium par spectroscopie des électrons Auger associée à la pulvérisation ionique

par Jean-Pierre Segaud

Thèse de doctorat en ?

Sous la direction de Étienne Blanc.

Soutenue en 1988

à Grenoble 1 .

mots clés

Résumé

Un ensemble d'analyse de la composition chimique en profondeur par spectroscopie des electrons auger associee a la pulverisation ionique a ete developpe afin de pouvoir caracteriser rapidement de nombreux echantillons et d'etre ainsi en prise directe avec la technologie microelectronique. En optimisant les conditions experimentales de mise en oeuvre des faisceaux ionique et electronique, cette technique a permis de realiser une analyse physico-chimique quantitative de composes d'oxynitrure de silicium. Elle est de plus caracterisee par une bonne resolution en profondeur (environ 30 a) et une vitesse d'erosion tout a fait a l'etude de couches tres minces

Titre traduit

Analysis of silicon oxinitride by auger electron spectroscopy combined with sputtering

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