Etude de polymères thermostables pour l'isolation des interconnexions dans les circuits intégrés

par Pierre Sanseau

Thèse de doctorat en Micro-électronique

Sous la direction de Jean-Claude Pfister.

Soutenue en 1988

à Grenoble 1 .

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  • Résumé

    Proprietes: mise en oeuvre de polyimides

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  • Détails : 190 p

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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 88/GRE1/0021
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