Elaboration et caractérisation des structures germanium-isolant

par Zineb Benamara

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de Stanislaw Krawczyk.

Soutenue en 1988

à l'Ecully, Ecole centrale de Lyon .


  • Résumé

    Le travail est realise en vue d'obtenir de bonnes proprietes electroniques de l'interface, compatibles avec la realisation des dispositifs mis sur le materiau germanium isolant. Nous avons developpe quatre principales etapes technologiques: 1) polissage du substrat; 2) traitement et controle de la surface avant le depot d'isolant; 3) depot d'isolant; 4) traitement apres le depot d'isolant. Les proprietes physico-chimiques de la surface ont ete analysees par spectroscopie d'electron auger et xps (x-ray electron spectroscopy)

  • Titre traduit

    Elaboration and characterization of germanium insulator structures


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Informations

  • Détails : 1 vol. (110 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : 35 réf.

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  • Bibliothèque : Ecole centrale de Lyon. Bibliothèque Michel Serres.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : T1320
  • Bibliothèque : Ecole centrale de Lyon. Bibliothèque Michel Serres.
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  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : MF-1988-BEN
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