L'Etude de l'influence des oxydes sur les propriétés électriques des composants électroniques en phosphure d'indium

par Abdelhakim Mahdjoub

Thèse de doctorat en Dispositifs de l'électronique intégrée

Sous la direction de Jacques Joseph.

Soutenue en 1988

à l'Ecully, Ecole centrale de Lyon .


  • Résumé

    Le phosphure d'indium (inp) est un semiconducteur potentiellement interessant pour l'electronique. Mais son utilisation necessite un controle des proprietes de surface et notamment des oxydes. L'etude systematique des proprietes physicochimiques des oxydes chimiques et electrochimiques a montre l'interet du phosphate condense in(po::(3))::(3). Dans cette these l'influence de ces oxydes sur les proprietes electriques des capacites metal isolant semiconducteur a ete examine. Le role des differents parametres d'oxydation (electrolyte, tension electrique) a ete etudie. Ce travail a permis de proposer une solution optimisee a la passivation de l'inp par les oxydes, permettant d'obtenir des interfaces de bonne qualite. Le minimum de la densite des etats d'interface est typiquement inferieur o 10**(1)1 etats par cm**(2) et ev donc comparable aux meilleurs resultats obtenus sur ce materiau. L'hysteresis est faible et la stabilite dans le temps correcte

  • Titre traduit

    Study of oxide influence on electrical properties of electronic devices in indium phosphide


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Informations

  • Détails : 1 vol. (190 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : 90 réf.

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