Mise au point d'un appareillage de photoluminescence a haute resolution spatiale : application a l'etude des semiconducteurs et dispositifs electroniques iii-v

par Gérard Gillardin

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de CHRISTIAN PARISET.

Soutenue en 1988

à Clermont Ferrand 2 .

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  • Résumé

    Description du dispositif permettant d'analyser des plaques de 2**(") de diametre a 1ok, avec de hautes resolutions laterales (20 et 1mu m), eventuellement a diverses energies. Realisation de cartographies a 300 et 10k: tres bonne correlation entre intensite de photoluminescence et defauts cristallins et chimiques; correspondance avec des mesures de resistivite electrique. Mise au point d'une procedure de qualification de l'homogeneite microscopique de gaas semi-isolant. Possibilite de prevoir la dispersion des tensions de seuil de transistors fet d'apres l'analyse du support de defaut, donc de classer et choisir les supports pour la realisation de circuits integres


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  • Détails : 160 P.
  • Annexes : 160 REF

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