Contribution a l'etude des interfaces dans les structures mim et mis : spectroscopie tunnel sur fluorure d'aluminium, etude de l'interface si-sio2 par deux methodes classiques et par spectroscopie tunnel

par Guy Salace

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Jacques Despujols.

Soutenue en 1987

à Reims .

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  • Résumé

    Etude de la chimisorption des acides et des bases sur un nouvel isolant, le fluorure d'aluminium par utilisation de l'effet tunnel inelastique. Caracterisation de capacites mos obtenues par oxydations thermiques seche, humides et depot lpcvd. (on a utilise les techniques de conductance et la methode quasi-statique). Experimentation de l'interface si-sio2 par spectroscopie tunnel grace a des echantillons metal-oxyde-silicium degenere

  • Titre traduit

    Study of interfaces in mim and mis junctions. Inelastic electron tunneling (iets) on aluminium trifluoride-si-sio2 interface investigation by means of two classical methods and by iets


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Informations

  • Détails : 192 P.
  • Annexes : 88 REF

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  • Bibliothèque : Université de Reims Champagne-Ardenne. Bibliothèque universitaire. Bibliothèque Moulin de la Housse.
  • Disponible pour le PEB
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