Analyse par interferometrie holographique du champ thermique d'un réacteur de dépôt chimique en phase gazeuse
FR |
EN
Auteur / Autrice : | Maria del Castanar Diaz-Salgado |
Direction : | Sylvain Brunet |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Sciences appliquées |
Date : | Soutenance en 1987 |
Etablissement(s) : | Perpignan |
Mots clés
FR
Mots clés contrôlés
Résumé
FR
Les profils de temperature autour d'un substrat cylindrique ont ete obtenus pour des gaz neutres: ar, n::(2), avec une temperature de surface comprise entre 800 et 1200**(o)c et une pression totale dans le reacteur variant de 30 a 80 kpa. Une modelisation des profils de temperature est presentee dans le cas d'un echantillon cylindrique