Thèse soutenue

Analyse par interferometrie holographique du champ thermique d'un réacteur de dépôt chimique en phase gazeuse

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Auteur / Autrice : Maria del Castanar Diaz-Salgado
Direction : Sylvain Brunet
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Sciences appliquées
Date : Soutenance en 1987
Etablissement(s) : Perpignan

Mots clés

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Mots clés contrôlés

Résumé

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Les profils de temperature autour d'un substrat cylindrique ont ete obtenus pour des gaz neutres: ar, n::(2), avec une temperature de surface comprise entre 800 et 1200**(o)c et une pression totale dans le reacteur variant de 30 a 80 kpa. Une modelisation des profils de temperature est presentee dans le cas d'un echantillon cylindrique