Analyse par interferometrie holographique du champ thermique d'un réacteur de dépôt chimique en phase gazeuse

par Maria del Castanar Diaz-Salgado

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Sylvain Brunet.

Soutenue en 1987

à Perpignan .


  • Résumé

    Les profils de temperature autour d'un substrat cylindrique ont ete obtenus pour des gaz neutres: ar, n::(2), avec une temperature de surface comprise entre 800 et 1200**(o)c et une pression totale dans le reacteur variant de 30 a 80 kpa. Une modelisation des profils de temperature est presentee dans le cas d'un echantillon cylindrique

  • Titre traduit

    Analysis of the thermal field in a chemical vapor deposition reactor by holographic interferometry


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Informations

  • Détails : 1 vol. (122 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : 108 réf. bibliogr.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Perpignan Via Domitia. Service commun de la documentation. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH 1987 DIA
  • Bibliothèque : Ecole nationale supérieure d'ingénieurs en arts chimiques et technologiques. Service de documentation.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TEXT 1987 DIA
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