Recherche Avancée

Thèse soutenue

Miroirs multicouches interférentiels pour le rayonnement X-UV : réalisation, caractérisation et applications

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Auteur / Autrice : Ki Byoung Youn
Direction : Catherine Sella
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique des matériaux
Date : Soutenance en 1987
Etablissement(s) : Paris 11
Partenaire(s) de recherche : autre partenaire : Université de Paris-Sud. Faculté des sciences d'Orsay (Essonne)

Résumé

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Des miroirs multicouches interférentiels W/C, Ni/C et Mo/C utilisables dans le domaine X-UV ont été réalisés par pulvérisation cathodique en utilisant un nouveau système de contrôle in-situ de l'épaisseur des couches déposées, basé sur la mesure, l'échantillonnage et l'intégration en temps réels du courant ionique qui traverse la cible pendant le dépôt. L'étude des principaux paramètres qui déterminent la réflectivité des multicouches (structure, rugosités des substrats et des interfaces , épaisseur minimale à déposer pour avoir une couche continue, nombre de bicouches, régularité de l'empilement, rapport de l'épaisseur de l'élément absorbant à la période) a été effectuée par différentes méthodes de caractérisation : diffraction de rayons X à différentes longueurs d'onde (λ=1,54 Å, λ·= 8,34 Å et λ = 44,79. Å) , microscopie et diffraction électroniques, mesure de là résistivité électronique in-situ. Des mesures de réflectivité absolue ont été faites en utilisant le rayonnement synchrotron à courte longueur d'onde (λ = 1,5 Å, E = 8288 eV) et la composante S de rayonnements X mous polarisés (λ = 44,79 Å et λ = 67 ,9 Å) obtenus après double réflexion sur deux miroirs multicouches parallèles orientés sous l'angle de Brewster. Certaines multicouches réalisées trouvent des applications pour le diagnostic des plasmas à haute température. L'étude de propriétés ferromagnétiques des multicouches Ni/C a été effectuée pour explorer les propriétés magnétiques fondamentales et pour obtenir des renseignements complémentaires sur la structure des interfaces.