Mecanismes de formation de couches minces d'oxydes en plasma d'oxygene

par BRIGITTE PELLOIE LE DUIGOU

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jacques Perrière.

Soutenue en 1987

à Paris 7 .

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  • Résumé

    Etude des processus de transport ionique sous fort champ electrique, lors de la croissance de couches minces d'oxydes, obtenus a temperature ambiante, par polarisation anodique d'un support metallique ou semiconducteur en plasma d'oxygene. Investigations basees sur la microanalyse nucleaire et ses applications telles que le tracage isotopique, et la mesure de nombres de transport ionique


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Informations

  • Détails : 146 P.
  • Annexes : 80 REF

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  • Bibliothèque : Université Paris Diderot - Paris 7. Service commun de la documentation. Bibliothèque Universitaire des Grands Moulins.
  • Accessible pour le PEB
  • Cote : TS1987
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