Etude de la cristallisation en phase solide de couches minces de silicium implantees

par Yvon Pastol

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jacques Bourgoin.

Soutenue en 1987

à Paris 7 .

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  • Résumé

    Etude des effets de dopage par implantation de bore et de phosphore. Etude du role des defauts d'irradiation dans des couches implantees au silicium. Les couches implantees et non implantees sont cristallisees en phase solide par recuit thermique a basse temperature. Etude de la taille des grains, de la texture, de la morphologie de surface et de la conductivite electriques des couches en fonction de la concentration d'ions implantes


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Informations

  • Détails : 1 vol. (179 P.)
  • Annexes : 103 REF

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  • Bibliothèque : Université Paris Diderot - Paris 7. Service commun de la documentation. Bibliothèque Universitaire des Grands Moulins.
  • Accessible pour le PEB
  • Cote : TS1987
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