Controle de la croissance d'empilements ultra-minces carbone tungstene et silicium-tungstene par ellipsometrie cinetique in-situ : application aux miroirs pour x-mous

par Vincent Bodart

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de ) THEETEN.

Soutenue en 1987

à Paris 7 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Dans le but d'obtenir des reflecteurs de bragg pour rx mous, on realise par pulverisation avec controle ellipsometrique in situ des empilements de 200 couches nanometriques. Observation de la formation des interfaces a l'echelle atomique, evaluation des rugosites d'interface


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Informations

  • Détails : 171 P.
  • Annexes : 60 REF

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  • Bibliothèque : Université Paris Diderot - Paris 7. Service commun de la documentation. Bibliothèque Universitaire des Grands Moulins.
  • Accessible pour le PEB
  • Cote : TS1987
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