Etude et realisation d'un prototype de capteur d'acceleration integre sur silicium

par F. XAVIER PIROT

Thèse de doctorat en cPhysique

Sous la direction de Gérard Dreyfus.

Soutenue en 1987

à Paris 6 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Performances des accelerometres usuels et consequences de la miniaturisation sur celles-ci. Presentation de 2 prototypes sur silicium realises au laboratoire et de la methode de fabrication. Avenir reserve a ces dispositifs

  • Titre traduit

    Study and realization fo a silicon-integrated acceleration sensor


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