Etude des proprietes et structure des couches minces de silicium deposees par decomposition thermique de silane

par René Bisaro

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Julien Bok.

Soutenue en 1987

à Paris 6 .

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  • Résumé

    La taille des grains, la texture, la morphologie de surface, la conductivite electrique et l'absorption optique sont etudies en fonction des parametres de depot. L'optimum des proprietes de transport des couches polycristallines est lie a un regime de cristallisation en phase solide. Etude du processus de cristallisation, effet d'impuretes dopantes. On met en evidence l'effet des liaisons disponibles et de leur etat de charge sur le mecanisme des cristallisation


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Informations

  • Détails : 304 P.
  • Annexes : 211 REF

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  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : PMC RT P6 1987
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