Contribution a l'etude des couches minces de monoxyde de silicium : modifications apportees par l'interface nickel-sio sur les proprietes de transport electrique dans les structures metal-sio-metal

par Thien Phap Nguyen

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Serge Lefrant.

Soutenue en 1987

à Nantes .

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Résumé

Etude des proprietes des couches minces obtenues par evaporation thermique de la poudre de monoxyde de silicium dans des conditions precises sous forme de structures symetriques al-sio-al ou dissymetriques al-sio-ni

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