Structures electriques de controle de l'alignement dans les procedes de fabrication des circuits integres : application a la qualification d'equipement de lithographie avancee

par Agnès Lasne

Thèse de doctorat en Micro-électronique

Sous la direction de Jean Buxo.

Soutenue en 1987

à Toulouse, INSA .

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  • Détails : 210 P.
  • Annexes : 59 REF

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  • Cote : 87 TOU LAS
  • Bibliothèque : Institut national des sciences appliquées. Bibliothèque centrale.
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  • Cote : 1987/051/LAS
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