‬Etude de la croissance en films minces de céramiques SiNxCy H par dépôts chimiques en phase vapeur à partir d'organosilazanes

par Zineb Hatim

Thèse de doctorat en Science des matériaux

Sous la direction de Roland Morancho.

Soutenue en 1987

à Toulouse, INPT .


  • Résumé

    Etude du depot de ces couches a partir de : tris (tri methylsilyl) amine, bis (trimethylsilyl) amine et hexamethylcyclotrisilazane. Les proprietes des depots dependent des conditons experimentales : temperature, pression partielle d'hydrogene et nature du precurseur. Les proprietes optiques et les analyses ir indiquent que l'on obtient soit a-sic::(x): n(h), soit a-sin::(x): c(h). Presentation des resultats des caracterisations physicochimiques et de l'etude de la pyrolyse des precurseurs par chromatographie en phase vapeur. Discussion d'un mecanisme de decomposition thermique des precurseurs

  • Titre traduit

    Study of SINxCy H ceramic films deposited by MOCVD using various organosilzane as single molecular precursors


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Informations

  • Détails : 1 vol. (121 f.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. 3 f.

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