Etude de circuits submicroniques implantés pour mémoire à bulles magnétiques

par Marie-Noëlle Séméria

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Germain Chartier.

Soutenue en 1987

à Grenoble 1 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    La technologie necessaire a la realisation de memoires a bulles magnetiques implantees de haute densite (au moins 16 mb/cm**(2)) est etudiee sous differents aspects: le report de motifs submicroniques (0. 3-0. 8 mu m) necessite d'optimiser les moyens classiques de lithographie optique par contact ou projection. A cette fin, une modelisation est utilisee et des experiences comparatives realisees; la realisation des circuits comporte des implantations ioniques: differents materiaux de masque sont proposes (or, silice, polymere). Dans chacun des cas, des realisations concretes de masques graves sont effectuees et analysees; enfin des implantations hydrogene sont realisees. Le fonctionnement des dispositifs est correle aux parametres de l'implantation et au dessin des motifs. Des conclusions pratiques sont tirees sur l'implantation et la technologie compatibles avec un bon fonctionnement des dispositifs


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 1 vol. (136 p., [43] p. et f. de pl.)

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque :
  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque :
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 87/GRE1/0137
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.