Préparation et étude de couches minces de fluorure de lanthane destinées à la réalisation de membranes sensibles pour capteurs

par Fathi Labidi

Thèse de doctorat en Sciences

Sous la direction de Jean Salardenne.

Soutenue en 1987

à Bordeaux 1 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Etude des conditions optimales de preparation de couches minces de fluorure de lanthane par pulverisation cathodique rf ou par sublimation thermique sous vide. Caracterisation physicochimique des couches obtenues. L'etude des proprietes electriques est realisee par spectroscopie d'admittance en utilisant une representation par admittances fractionnaires et par itc. Les interactions gaz-solide et ions en solution solide sont etudiees et conduisent a la realisation d'un capteur a oxygene fonctionnant des la temperature ambiante et d'un capteur isfet fluor

  • Titre traduit

    Preparation and study of lanthanium fluoride thin films as sensitive gate for sensors


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