Obtention et etude de couches minces de siliciures de metaux refractaires

par ANNE BOUTEVILLE RICHARD

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de J. C. REMY.

Soutenue en 1987

à Angers .

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  • Résumé

    Les couches minces de siliciures de metaux refractaires sont utilises en microelectronique. Le depot chimique en phase vapeur permet un excellent recouvrement de marche et la possibilite de depot selectif. Cette etude traite de l'obtention par cette methode a basse pression de couches minces de siliciures de ta et de ti et de leur etude. Mise au point du procede, influence d'un traitement de recuit et etude du mecanisme de croissance


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Informations

  • Détails : 152 P.
  • Annexes : 83 REF

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