@PHDTHESIS{artuf1987,
url = "
		http://www.theses.fr/1987AIX22019",
title = "Caractérisation et analyse de la gravure du polysilicium par le chlore avec le système plasma triode pour la réalisation de circuits à haut niveau d'intégration",
author = "Artufel, Claude",
year = "1987",
pages = "119 P.",
note = "Thèse de doctorat dirigée par Bienfait, Michel Sciences appliquées Aix-Marseille 2 1987",
note = "1987AIX22019",
}