Elaboration du silicium polycristallin par projection plasma : microstructure et proprietes electriques

par MOHAMED AKANI

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Michel Rodot.

Soutenue en 1986

à Paris 6 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Obtention de rubans autosupportes ou supportes par differents substrats par projection plasma a partir de poudre de silicium. Optimisation du procede. Mesure des caracteristiques des rubans obtenus (porosite, densite, resistivite, mobilite de hall) avant et apres recuit, et apres recristallisation par bombardement electronique. Evolution des caracteristiques electriques avec le dopage. Mesure des proprietes photoelectroniques


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Informations

  • Détails : 255 P.
  • Annexes : 95 REF

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  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : PMC RT P6 1986
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