Thèse soutenue

Dopage avec ions simples et complexes de couches d'arséniure de gallium épitaxiés par jets moléculaires
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Auteur / Autrice : Sylvain Cavalieri
Direction : Philippe Gaucherel
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique
Date : Soutenance en 1986
Etablissement(s) : Nice

Mots clés

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Résumé

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Faisabilité d'une méthode de dopage ionique avec le soufre utilisant une source d'ions travaillant à très basse énergie par collisions électroniques avec l'hydrogène sulfure. Application de la méthode à l'hydrogénation du cristal par des espèces ioniques. Exposé des résultats