Dopage avec ions simples et complexes de couches d'arséniure de gallium épitaxiés par jets moléculaires
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Auteur / Autrice : | Sylvain Cavalieri |
Direction : | Philippe Gaucherel |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Physique |
Date : | Soutenance en 1986 |
Etablissement(s) : | Nice |
Mots clés
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Résumé
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Faisabilité d'une méthode de dopage ionique avec le soufre utilisant une source d'ions travaillant à très basse énergie par collisions électroniques avec l'hydrogène sulfure. Application de la méthode à l'hydrogénation du cristal par des espèces ioniques. Exposé des résultats