Caractérisation in situ par ellipsométrie et photoluminescence de l'interaction de plasmas multipolaires d’hydrogène et d'azote avec la surface (100) de GaAS

par Daniel Arnoult

Thèse de doctorat en Electronique

Sous la direction de Jean-Bernard Theeten.

Soutenue en 1986

à Lyon, INSA , en partenariat avec Laboratoires d'électronique et de physique appliquée (France) (laboratoire) .


  • Résumé

    Le dépôt d'une couche de diélectrique sur GaAs entraîne généralement une forte densité d'états d'interface. Ceci exclue par conséquent toute technologie M. I. S. (Métal-Isolant-Semiconducteur) et peut conduire à des effets parasites dans les M. E. S. F. E. T. (Transistors à effet de champ barriére Shottkyy) tels que des courants de fuite. L ' origine de ces états n'est pas clairement connue mais les défauts de stœchiométrie (antisites,Arsenic libre) jouent très certainement un rôle important. Pour remédier à ces problèmes nous avons utilisé un schéma de passivation faisant appel à des traitements par plasmas multipolaires détériorant le moins possible la surface: -désoxydation par plasma d ' hydrogène ; -passivation par plasma d ' azote ; -dépôt diélectrique protecteur (Si3N4). Le travail effectué a d ' abord consisté en la conception et la mise au po1nt d'un dispositif expérimental (sas d’introduction- chambre nettoyage/ passivation-chambre dépôt diélectrique> en technologie ultravide. Le suivi et le contrôle des divers traitements a été rendu possible grâce aux mesures d'éllipsométrie et de photoluminescence in situ. Nous sommes ainsi parvenu : - d'une part à désoxyder complètement une surface de GaAs par un plasma d'hydrogène à 200"C, - d'autre part à améliorer les conditions de passivation lors des plasmas d'azote.


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Informations

  • Détails : 1 vol. (126, [5] p.)
  • Notes : Publication autorisée par le juryDonnées extraites des formulaires d'enregistrement des thèses soutenues
  • Annexes : Bibliogr. p. [1]-[5]

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Institut national des sciences appliquées (Villeurbanne, Rhône). Service Commun de la Documentation Doc'INSA.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : C.83(894)
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