Elaboration de couches minces de germanium et d'alliages germanium-carbone par décomposition thermique de molécules organogermaniées

par Jamal El Boucham

Thèse de doctorat en Science des matériaux

Sous la direction de Roland Morancho.

Soutenue en 1986

à Toulouse, INPT .


  • Résumé

    Utilisation de la technique du depot chimique en phase vapeur dans un reacteur a mur froid, sur des supports silice, silicium et bromure de potassium. Etude du comportement thermique des quatre precurseurs organogermanies utilises. Caracterisation des couches par diffraction des electrons en incidence rasante. Spectroscopie raman et microscopie electronique a balayage

  • Titre traduit

    Thin film elaboration of germanium and germanium-carbon alloys from thermal decomposition organogermane molecules


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Informations

  • Détails : 1 vol. (115 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 107-109

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