Etude par rayons X rasants des effets de l'implantation de silicium dans le silicium et de fer dans un grenat

par Bruno Gilles

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux

Sous la direction de Michel Brunel.

Soutenue en 1986

à l'Université Joseph Fourier (Grenoble) .

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  • Résumé

    Un faisceau x tombant en incidence rasante sur une surface polie est totalement reflechi. Une onde evanescente se propage alors dans le materiau avec une faible profondeur de penetration : on peut encore observer un rayonnement de fluorescence ou de diffraction mais l'epaisseur irradiee est tres faible (10nm). Mise en evidence des possibilites d'utilisation de cette technique de surface pour caracteriser les modifications par implantation ionique des 1000 premiers a d'un cristal a partir de l'exemple de l'amorphisation de si par implantation de si et de l'implantation du grenat al-y par fe


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  • Détails : 107 p

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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 86/GRE1/0140
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