Méthodes de détermination du taux d'oxygène dans des substrats de silicium présentant une face rugueuse par spectroscopie infrarouge a transformée de Fourier
Auteur / Autrice : | Florence Garrault-Jolly |
Direction : | Suzanne Laval |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Optique et traitement du signal |
Date : | Soutenance en 1985 |
Etablissement(s) : | Paris 11 |
Partenaire(s) de recherche : | Autre partenaire : Université de Paris-Sud. Faculté des sciences d'Orsay (Essonne) |
Jury : | Président / Présidente : A. Brun |
Examinateurs / Examinatrices : Suzanne Laval, A. Brun, Florin Abelès, Danièle Fournier, André Mayeux |
Mots clés
Mots clés contrôlés
Mots clés libres
Résumé
Cette thèse présente les méthodes de détermination du taux d'oxygène dans des substrats de silicium présentant une face rugueuse. Ces substrats se présentent sous la forme de lames à faces parallèles de silicium monocristallin ; les origines et les propriétés spectroscopiques de l'oxygène sont rappelées. La technique d'analyse empolyée est la spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier dont le principe et l'appareillage sont décrits. Dans le but d'améliorer la résolution avec laquelle sont obtenus les spectres, plusieurs méthodes de traitement numérique de l'interférogramme sont présentées. Pour la détermination du taux d'oxygène dans des substrats polis sur les deux faces, ces méthodes remettent en question l'importance de la contribution des réflexions multiples. Après l'étude de l'interaction d'une onde électromagnétique et d'une surface rugueuse sont passées en revue des caractérisations numériques et énergétiques de l'état de surface. L'amplitude de rugosité étant déterminée faible devant la longueur d'onde infrarouge, plusieurs méthodes de caractérisation du coefficient d'absorption en oxygène dans des substrats polis sur une seule face sont proposées. On retient deux modélisations : celles à partir de la loi de KIRCHHOFF et de la couche de passage. Les résultats obtenus laissent supposer une oxydation à l'air ambiant non négligeable de la face rugueuse