Étude des ions d'un plasma réactif : effets d'une perturbation harmonique imposée

par Brahim Arezki

Thèse de doctorat en Physique des gaz et des plasmas

Sous la direction de Marc Fitaire.

Soutenue en 1985

à Paris 11 , en partenariat avec Université de Paris-Sud. Faculté des sciences d'Orsay (Essonne) (autre partenaire) .


  • Résumé

    Cette thèse porte principalement sur l’analyse des ions d’un plasma réactif (CF₄) dans une décharge RF. Ces ions extraits au travers d’un orifice sont focalisés, à l’aide d’une optique ionique, à l’entrée d’un spectromètre de masse quadrupolaire fonctionnant en analyseur d’ions. Ce dispositif d’étude a permis de déterminer le flux et l’énergie des ions ainsi que l’effet d’une perturbation harmonique imposée et ceci pour différents paramètres du plasma. La pression de travail varie de 30 à 600 mT, pressions couramment utilisées dans la gravure plasma.

  • Titre traduit

    Study of reactive plasma ions : effects of imposed harmonic perturbation


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Informations

  • Détails : 1 vol. (81 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 80-81 (15 réf.)

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Université Paris-Saclay. DIBISO. BU Orsay.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 0g ORSAY(1985)37
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH2014-033864
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