Elaboration et exploitation d'un banc d'ellipsométrie à longueur d'onde variable, pour l'étude et la caractérisation de capacités MIS sur composés III-V

par Marc Juvin

Thèse de doctorat en Sciences. Electronique

Sous la direction de Jacques Joseph.

Soutenue en 1985

à Lyon 1 , en partenariat avec École centrale de Lyon (autre partenaire) .

Le jury était composé de Jacques Joseph.


  • Résumé

    Les processus technologiques de fabrication des structures MIS sur InP, comportent généralement une étape de préparation du substrat, pendant laquelle on observe certaines modifications du matériau. Avec l'ellipsométrie spectroscopique, nous disposons d'un outil de caractérisation, capable d'analyser qualitativement et quantitativement une interface, à travers l'isolant déposé (Al2 O3). L'objet de ce travail est de présenter, après un rapide exposé des principes de base, la mise au point d'un banc automatique d'ellipsométrie spectroscopique, de type polariseur tournant. Une application à l'étude de la passivation de l'InP par un traitement thermique sous pression partielle d'Arsenic, est développée et montre une méthode de dépouillement des spectres à partir d'une modélisation simple à une ou deux couches.


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  • Résumé

    Les processus technologiques de fabrication des structures MIS sur InP, comportent généralement une étape de préparation du substrat, pendant laquelle on observe certaines modifications du matériau. Avec l'ellipsométrie spectroscopique, nous disposons d'un outil de caractérisation, capable d'analyser qualitativement et quantitativement une interface, à travers l'isolant déposé (Al2 O3). L'objet de ce travail est de présenter, après un rapide exposé des principes de base, la mise au point d'un banc automatique d'ellipsométrie spectroscopique, de type polariseur tournant. Une application à l'étude de la passivation de l'InP par un traitement thermique sous pression partielle d'Arsenic, est développée et montre une méthode de dépouillement des spectres à partir d'une modélisation simple à une ou deux couches.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (145 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 143-145

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  • Bibliothèque : Université Claude Bernard (Villeurbanne, Rhône). Service commun de la documentation. BU Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Bibliothèque : Ecole centrale de Lyon. Bibliothèque Michel Serres.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : T1217
  • Bibliothèque : Ecole centrale de Lyon. Bibliothèque Michel Serres.
  • Non disponible pour le PEB
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