Thierry Sauvage
IdRefMots clés
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Diffusion
Énergie nucléaire
Carbure de bore
Absorbant neutronique
Hélium
Analyse par réaction nucléaire
Microscopie électronique en transmission
Getter à base d'yttrium
MEMS
Encapsulation sous vide
Film mince
Analyse par faisceau d'ions
Systèmes microélectromécaniques
Encapsulation (électronique)
Pompes à getter
Couches minces métalliques
Diffusion (physique)
Yttrium