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Roger Botton
est l'auteur d'une thèse
Composés du silicium
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Nitrure de silicium
Composés du silicium
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Nitrure de silicium
Roger Botton a rédigé la thèse suivante :
Dépôt chimique en phase vapeur à l’intérieur d'une décharge électrique de courant continu : Application au nitrure de silicium
par
Roger Botton
sous la direction de
Bernard Balland
-
Lyon, INSA
Dispositif de l'électronique intégrée
Soutenue en 1991