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Roger Botton

est l'auteur d'une thèse

Composés du silicium  Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma  Nitrure de silicium  
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Composés du silicium  Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma  Nitrure de silicium  

Roger Botton a rédigé la thèse suivante :

Dépôt chimique en phase vapeur à l’intérieur d'une décharge électrique de courant continu : Application au nitrure de silicium

par Roger Botton sous la direction de Bernard Balland - Lyon, INSA

Dispositif de l'électronique intégrée
Soutenue en 1991
Thèse soutenue

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